Un Materiale Innovativo per In

DuPont Engineering Polymers, Newark, Delaware

Le parti Vespel sono realizzate con un polimero esclusivo di DuPont che è stato definito un risolutore di problemi per l'industria dei semiconduttori. Vespel SPC è una nuova generazione di parti e forme in poliimmide Vespel per la produzione di semiconduttori, con prestazioni migliorate e valore aggiunto nelle camere di incisione e in altri ambienti esigenti di lavorazione dei wafer.

Secondo il dottor Gary Poovey della Lam Research Corp., progettista e produttore di apparecchiature di elaborazione utilizzate nella fabbricazione di circuiti integrati, Vespel ha diverse caratteristiche cruciali per le applicazioni in camera. Vespel aElectronics Tech Briefs, giugno 1999 sopravvive alle alte temperature, resiste ai cicli termici e mantiene la sua forma sotto pressione. È anche molto stabile negli ambienti al plasma e dimostra un'eccellente resistenza meccanica. Infine, poiché Vespel non trasferisce calore, non attira i depositi così facilmente come altri materiali, con conseguente maggiore pulizia della camera.

Il dottor Ray DeColibus, sviluppatore della formulazione Vespel SCP, conferma che i livelli di contaminazione da ioni metallici di Vespel tendono ad essere molto bassi rispetto ad altri polimeri. Vespel è molto stabile dal punto di vista ossidativo, anche a temperature molto elevate, e offre una maggiore resistenza al plasma, che è particolarmente critica per i produttori di semiconduttori.

Il più grande consumatore attuale di Vespel nell'industria dei semiconduttori è il segmento etch, dove viene utilizzato per anelli di serraggio di wafer, piastre di distribuzione del gas, anelli isolanti, rivestimenti di camere, anelli di bordo, anelli di confinamento, viti e clip e componenti di perni di sollevamento. Queste parti in Vespel contribuiscono a migliorare la resa dello stampo attraverso una maggiore uniformità dell'incisione e un effetto bordo ridotto. Vespel viene utilizzato anche in PVD, CVD, impianto ionico e altri processi.

Grazie alla sua combinazione unica di proprietà, Vespel viene utilizzato per sostituire il quarzo in una varietà di applicazioni di semiconduttori. Molti produttori di semiconduttori stanno sostituendo con successo il Vespel al quarzo senza apportare alcuna modifica alle condizioni di lavorazione e contemporaneamente riscontrando vantaggi nei processi complessivi di fabbricazione dei wafer. Ad esempio, negli anelli di bloccaggio dei wafer, la maggiore tenacità del Vespel previene la frattura che può verificarsi con l'uso del quarzo. Anche gli anelli di copertura e di messa a fuoco sono stati convertiti in Vespel, per sfruttare la sua superiore uniformità e pulizia dell'incisione.

Nelle applicazioni recentemente documentate, le parti realizzate in Vespel hanno durato fino a tre volte di più rispetto alle poliimmidi standard. Grazie alla sua durabilità, affidabilità, lunga durata, manutenzione ridotta e maggiori rendimenti, aiuta i produttori di semiconduttori a ridurre i costi di proprietà negli attuali sistemi di incisione e nei sistemi al plasma ad alta densità di prossima generazione. Al momento dell'acquisto iniziale e per tutta la durata della parte, il costo delle parti Vespel è altamente competitivo con quarzo e ceramica.

Per soddisfare la necessità di parti più grandi che possano resistere a condizioni aggressive della camera e proteggere la purezza del processo, DuPont offre Vespel in diametri che vanno da un quarto di pollice fino a 22 pollici. Le parti king-size sono ideali per anelli di confinamento più grandi, anelli di protezione, anelli di messa a fuoco e vari altri usi.

Per ulteriori informazioni, visitare il sito Web di DuPont Semiconductor Enterprise: www.dupont.com/semiconductors o il sito Web di Vespel: www.dupont.com/enggpolymers/americas/products/vespel.html o chiamare il numero 1-800-972-7252 .

Questo articolo è apparso per la prima volta nel numero di giugno 1999 di Electronics Tech Briefs Magazine.

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